激光切割加工快速軸流CO2激光器的放電是分段進(jìn)行的,分別有4支.6支,8支或者16支放電管。一般情況下,陰極制作在放電管上,陽(yáng)極裝在支撐座上,與放電管構(gòu)成一體。放電管的陰極一般采用圓筒形金屬鎳博片或圓筒形不銹鋼制成,用鎢桿與玻璃封接引出管外,陰極的尺寸由故電管內(nèi)徑和工作電流決定;不宜采用氧化物熱陰極,因?yàn)槎趸挤肿釉跉怏w放電時(shí),會(huì)分解出原子態(tài)氧和一氧化碳而導(dǎo)致熱陰極失效。
電極的位置可與放電管同軸,也可以放在管軸之外。前者具有結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點(diǎn),但因電極發(fā)熱會(huì)影響激光輸出的穩(wěn)定性;后者制造比較方便,而且電極濺射不易污染諧振腔鏡片,微光輸出比前者穩(wěn)定。
激光切割加工放電管陽(yáng)極一般由紫鋼制作而成,其內(nèi)徑與放電管內(nèi)徑一致,外徑可以稍大于放電管外徑。氣流從陽(yáng)極與放電管的陶瓷套之間的狹縫流進(jìn)放電管。調(diào)整陶瓷套可以改變狹縫的大小,調(diào)節(jié)每支放電管內(nèi)氣流速度和放電電流的平衡。
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