平行中面結(jié)構(gòu)諧振腔雖然有較好的功率輸出能力，但激光輸出模式不好。為了能有效利用平板結(jié)構(gòu)放電激活區(qū)，獲得可供工業(yè)用的高質(zhì)量光束，必須研究新的激光切割加工技術(shù)。高功率、高增益、大體積的激光器廣泛采用非穩(wěn)諧振路技術(shù)來獲得高質(zhì)量光束的激光輸出。但對擴散冷卻的CO2激光器而言，其增益系數(shù)小于1%cm，使用傳統(tǒng)的
激光切割加工不能有效地獲得能量。因為對非對稱腔而言，為了獲得較好的模式盜別力，諧振腔的幾何放大率M.必須大，這樣導(dǎo)致往返損失（1一 1/M）太大，而不能獲得最佳的能量精合輸出。
一般對于短增益強度的連續(xù)CO2激光器其最佳能量耦合輸出不超過15% ，采用穩(wěn)定非穩(wěn)諧振腔是解決上述問題一個有效辦法。此種諧振腔在一個方向上是穩(wěn)定的，而在另一方向上是非穩(wěn)的，是一種混合腔，同時具有兩種諧振腔的特點。在非穩(wěn)方向上，光束能展開以充分利用此方向的激活區(qū)，而在穩(wěn)定方向上，光束被限制在較窄的穩(wěn)定區(qū)域內(nèi)，邀光運行于低階模。
因此，激光切割加工采用這種諧振腔既能充分利用激舌區(qū)又能獲得好的光來質(zhì)量（特別是穩(wěn)定方向只能運行基模時》。在這種情況下往返損失為1一 1/M。平板波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的激光器，選取窄方向為穩(wěn)定方向，另一垂直方向為非穩(wěn)方向，光軸位于非穩(wěn)方向一側(cè)，激光從非穩(wěn)方向的另一側(cè)的耦合孔輸出。
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