用激光蒸發(fā)樣品后，激光切割加工的輻射可以直接用于光譜分析，但光譜的質(zhì)最卻比傳統(tǒng)的光源要差，因此，一般是分兩步來進(jìn)行的，第一步用激光蒸發(fā)樣品，第二步用火花放電或無電極高頻放電激發(fā)蒸汽激光在發(fā)射光譜
用激光蒸發(fā)樣品后，激光切割加工的輻射可以直接用于光譜分析，但光譜的質(zhì)最卻比傳統(tǒng)的光源要差，因此，一般是分兩步來進(jìn)行的，第一步用激光蒸發(fā)樣品，第二步用火花放電或無電極高頻放電激發(fā)蒸汽激光在發(fā)射光譜學(xué)中應(yīng)用得最好和最有成效的就是激光微區(qū)光譜儀。
激光切割加工是應(yīng)用顯微聚能光學(xué)系統(tǒng)將激光束（一般在兆瓦量級）會聚在被分析試樣約一個(gè)微小區(qū)域（10微米至300微米）內(nèi)，使之在高能激發(fā)下汽化成煙羽狀的氣團(tuán)，當(dāng)氣團(tuán)通過上方處于臨界放電狀態(tài)的輔助電極時(shí)，再受到放電激發(fā)產(chǎn)生強(qiáng)光，然后用光譜儀進(jìn)行試樣分析。激光微區(qū)光譜分析有以下優(yōu)點(diǎn)，分析速度快（一次激光激發(fā)的時(shí)間為亳秒量級到毫微秒量級），分析靈敏度高（絕對靈敏度10-6到10-12克，相對靈敏度0001%到0.1%）。
需要的樣品少（一般為微克量級），分析的區(qū)域?。ㄒ话銥?0微米到幾百個(gè)微米），因此不破壞樣品的完整性，能進(jìn)行幾乎無損的分析。不需要預(yù)先處理即可對導(dǎo)體、非導(dǎo)體透明體、非透明體、金屬、礦物、有機(jī)物、生物樣品等進(jìn)行分析.
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