在激光切割過程中，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對(duì)象表面之間相對(duì)位置發(fā)生變化的因素很多，這些因素可能造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置發(fā)生偏差。這些誤差有些是具有規(guī)律性，可以通過定量補(bǔ)償方法進(jìn)行補(bǔ)償，但一些誤差為隨機(jī)誤差，只能通過在線檢測(cè)和控制來消除。
只能通過在線檢測(cè)和控制來消除的隨機(jī)誤差有：
工件幾何誤差。激光切割的對(duì)象為板材或覆蓋件型零件，由于各種的影響，加工對(duì)象表面具有起伏不平，且在切割過程中的熱效應(yīng)的影響也會(huì)產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對(duì)于1維激光加工，覆蓋件在壓制成型過程中也會(huì)產(chǎn)生表面的不平，所有這些，都會(huì)產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對(duì)象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化。
工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差。
激光切割加工的工件是放在針狀工作臺(tái)上，由于加工誤差、長(zhǎng)時(shí)間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會(huì)出現(xiàn)凸凹不平，這種不平也會(huì)產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。
編程產(chǎn)生的誤差。在維激光切割加工過程中，復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過直線、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對(duì)象表面的相對(duì)位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差，而有些示教編程系統(tǒng)也會(huì)引入一些偏差。
被加工工件表面凸凹不平、工件裝夾方式、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的變形、工件在加工過程中的熱變形等都會(huì)造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置（編程位置）發(fā)生偏差，加工人員和設(shè)計(jì)師在工作過程中應(yīng)該多加注意。
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