發(fā)布者:激光切割加工|凱利特 時(shí)間:2019/11/30 10:32:17
和打孔的情形不同的是,用于切割的激光器應(yīng)該具有較高的“重復(fù)頻率”,即每秒鐘好輸出幾十次到幾百次激光脈沖(而在打孔的應(yīng)用中,激光器每秒鐘輸出一次或幾次激光脈沖就已經(jīng)足夠了)。當(dāng)然,我們也可以利用連續(xù)輸出的激光器來(lái)進(jìn)行切割。目前看來(lái),在切割應(yīng)用中,以二氧化碳激光器和摻鋁石榴石激光器的效果為佳。
與原有的切割方法相比較,激光切割的特點(diǎn)主要是切縫窄、速度快、即使是脆性材料也可以加工。在電子工業(yè)中,用激光來(lái)切割硅單晶片是特別適用的。隨著我國(guó)電子工業(yè)的飛速發(fā)展,現(xiàn)在的平面工藝已經(jīng)可以在很小的面積上制出大量的電子器件來(lái)。例如,可以在一塊一分錢硬幣那樣大的面積上,制出七千多個(gè)晶體管、二極管、電阻等等元件來(lái),這些,相當(dāng)于六百多個(gè)單元電路。制好后的這種集成電路或晶體管的管芯,如何準(zhǔn)確無(wú)誤地分割開(kāi)來(lái),是一道重要而麻煩的工序。過(guò)去的加工辦法是把這樣的基片放在顯微鏡下用金剛刀反復(fù)地劃幾次,然后再把它們一一掀開(kāi)。這樣的生產(chǎn)方法不但使操作者的眼睛容易疲勞,更主要的是每次劃痕的深度不易控制,影響產(chǎn)品質(zhì)量,成品率很低。常常是其它工序都通過(guò)了,后在劃片時(shí)卻要報(bào)廢70%左右,既浪費(fèi)單晶材料,又影響集成度的提高。采用激光切割的辦法之后,在這些方面就得到了很大的改進(jìn),成品率由原來(lái)的30%提高到80%。由于激光束很細(xì),它的光斑大約只有幾絲到十幾絲,作用時(shí)間又很短(幾百毫微秒到幾百微秒),所以切割出來(lái)的縫很窄。經(jīng)激光切割后的基片,只要輕輕一按便可分開(kāi),而且切口的邊緣平直,質(zhì)量很好。和手工劃片的工藝相比較,操作上也方便多了。
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