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        用激光蒸發(fā)樣品后，激光切割加工的輻射可以直接用于光譜分析，但光譜的質最卻比傳統(tǒng)的光源要差，因此，一般是分兩步來進行的，第一步用激光蒸發(fā)樣品，第二步用火花放電或無電極高頻放電激發(fā)蒸汽激光在發(fā)射光譜

        激光切割加工是應用顯微聚能光學系統(tǒng)將激光束（一般在兆瓦量級）會聚在被分析試樣約一個微小區(qū)域（10微米至300微米）內，使之在高能激發(fā)下汽化成煙羽狀的氣團，當氣團通過上方處于臨界放電狀態(tài)的輔助電極時，再受到放電激發(fā)產生強光，然后用光譜儀進行試樣分析。激光微區(qū)光譜分析有以下優(yōu)點，分析速度快（一次激光激發(fā)的時間為亳秒量級到毫微秒量級），分析靈敏度高（絕對靈敏度10-6到10-12克，相對靈敏度0001%到0.1%）。

        需要的樣品少（一般為微克量級），分析的區(qū)域小（一般為10微米到幾百個微米），因此不破壞樣品的完整性，能進行幾乎無損的分析。不需要預先處理即可對導體、非導體透明體、非透明體、金屬、礦物、有機物、生物樣品等進行分析.
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